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四甲基硅烷（TMS）

Tetramethylsilane（TMS）
四甲基硅烷;四甲基硅烷[用于核磁共振];四甲基矽烷;四甲矽;四甲基硅烷, NMR级;四甲基硅烷, 99.9%;四甲[單]矽烷;四甲基硅烷(四甲基硅、四甲基矽烷、四甲矽);四甲基硅
75-76-3
C4H12SI
88.22
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中文名称： 四甲基硅烷（TMS）
英文名称: Tetramethylsilane（TMS）
产品分类： 化学气相沉积与原子层沉积前体
CAS号： 75-76-3
分子式： C4H12SI
分子量： 88.22
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