三[N,N-双(三甲基甲硅烷基)酰胺]钇(III)(YTDTMSA)

Tris[N,N-bis(trimethylsilyl)amide]yttrium(III)(YTDTMSA)
三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]镱(III);三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]钇;三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]钇(III);三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]镱;三[N,N-双(三甲基甲硅烷基)酰胺]钇;三[双(三甲基硅)氨基]钇
41836-28-6
3[C6H18NSI2-].Y+3
570.06
充氩
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中文名称: 三[N,N-双(三甲基甲硅烷基)酰胺]钇(III)(YTDTMSA)
英文名称: Tris[N,N-bis(trimethylsilyl)amide]yttrium(III)(YTDTMSA)
产品分类: 化学气相沉积与原子层沉积前体
CAS号: 41836-28-6
分子式: 3[C6H18NSI2-].Y+3
分子量: 570.06
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