三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽, 99.99% (metals basis)

英文名：Tantalum tris(diethylamido)-tert-butylimide, 99.99% (metals basis)

别名：三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽;N-去甲托品醇-3A-基 (2-羟基-2,2-二苯基)乙酸酯;桂马维林;三(二乙基氨基)(叔丁基酰亚胺基)钽(V);三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽 (metals basis);三(二乙基氨基)叔丁酰亚胺钽;三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽(V);叔丁基亚胺三(二乙基氨基)钽;三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽, 99.99% (METALS BASIS);(叔丁基酰亚胺基)三(二乙基氨基)钽(V) 98%(99.99%-TA);(T-BUTYLIMIDO)TRIS(DIETHYLAMINO)TANTALUM(V),MIN.98%(99.99%-TA)PURATREMTBTDET

CAS No. : 169896-41-7

分子式：C16H39N4TA

分子量：468.46

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中文名称：	三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽, 99.99% (metals basis)
英文名称:	Tantalum tris(diethylamido)-tert-butylimide, 99.99% (metals basis)
产品分类：	化学气相沉积与原子层沉积前体
CAS号：	169896-41-7
分子式：	C16H39N4TA
分子量：	468.46

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