三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]钇(III)

英文名：Tris[N,N-bis(trimethylsilyl)amide]yttrium(III), min. 98% (99.9%-Y) (REO)

别名：三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]镱(III);三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]钇;三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]钇(III);三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]镱;三[N,N-双(三甲基甲硅烷基)酰胺]钇;三[双(三甲基硅)氨基]钇

CAS No. : 41836-28-6

分子式：{[(CH₃)₃SI]₂N}₃Y

分子量：570.06

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中文名称：	三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]钇(III)
英文名称:	Tris[N,N-bis(trimethylsilyl)amide]yttrium(III), min. 98% (99.9%-Y) (REO)
产品分类：	化学气相沉积与原子层沉积前体
CAS号：	41836-28-6
分子式：	{[(CH₃)₃SI]₂N}₃Y
分子量：	570.06

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